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产品名称：VFR-200M/ERH
产品型号：VFR-200M/ERH
上传时间：2012-06-12
点击次数：7852

   

小型真空镀膜装置 VFR-200M/ERH
DEPOX系列／小型真空镀膜装置



 
特　性

在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、皮拉尼真空计、电离真空计、真空管、电力系统等必要机器的电阻加热式小型真空蒸发装置。DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。使用简单，最适合用于基础研究开发等实验。
 
应　用

1.
金属与有机材料镀膜装置。
2.
真空排气设备的多种组合。
3.
强化安全性与可靠性。
4.
多层镀膜与同时镀膜（最大：4 层）还配有额外蒸发电源与电极。
5.
玻璃钟罩方便观察与维护。

规格参数
型　号
 VFR-200M/ERH
真空性能
极限压力
 8.0 × 10-4Pa
6.0 × 10-4Pa (使用液氮时)
排气时间
 4.0 × 10-3Pa/15min
3.0 × 10-3Pa/15min (使用液氮时)
真空舱
钟罩尺寸
 玻璃钟罩 （直径300mm × 300mm(H))
馈通圈
 12个端口（8侧面、4底面）
标准基板・最大尺寸 ※1
 □50mm ・ □140mm（最大）
供电系统
蒸发电极结构
 1点式
蒸发电源
 SEREM　“PSE-150C”、 0 – 10V 、150A (最大)
排气系统
主泵
 油扩散泵（气冷） 200 L/sec
液氮冷阱
 有
前级泵
 油旋片真空泵 100 L/min
油雾过滤器
 油雾过滤器　OMI-100
操作系统
主阀门
 蝶阀
副阀门
 三向切换阀
自动渗漏阀
 可选
控制
 手动控制
控制系统
皮拉尼真空计
 GP-1G
电离真空计
 GI-M2
外形
尺寸（主体）
 730mm(W) × 603mm(D) × 1161mm(H)
尺寸（蒸发电源）
 480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H)
重量（主体）
 145kg
重量（蒸发电源）
 40kg

 

条　件
型　号
 VFR-200M/ERH
电源需求
主体
 单相, 100V, 1.4kVA
蒸发电源
 单相, 200V, 1.5kVA
接地端子 D级（接地抗阻/100Ω 或更低）
附件
主体 ： 单相、100V
 乙烯绝缘软电缆（R3.5-4帯端子） 4m
蒸发电源 ： 单相、200V
 乙烯绝缘软电缆（R2.0-5帯端子） 2m
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