| 特 性 |
在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、皮拉尼真空计、电离真空计、真空管、电力系统等必要机器的电阻加热式小型真空蒸发装置。DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。使用简单，最适合用于基础研究开发等实验。
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| 应 用 |
| 1. |
金属与有机材料镀膜装置。 |
| 2. |
真空排气设备的多种组合。 |
| 3. |
强化安全性与可靠性。 |
| 4. |
多层镀膜与同时镀膜（最大：4 层）还配有额外蒸发电源与电极。 |
| 5. |
玻璃钟罩方便观察与维护。 |
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型 号 |
VWR-400M/ERH |
| 真空性能 |
极限压力 |
4.0 × 10-4Pa
3.0 × 10-4Pa (使用液氮时) |
排气时间 |
4.0 × 10-3Pa/10min
3.0 × 10-3Pa/10min (使用液氮时) |
| 真空舱 |
钟罩尺寸 |
玻璃钟罩 （直径300mm × 300mm(H)) |
馈通圈 |
12个端口（8侧面、4底面） |
标准基板・最大尺寸 ※1 |
□50mm ・ □140mm（最大） |
| 供电系统 |
蒸发电极结构 |
1点式 |
蒸发电源 |
SEREM “PSE-150C”、 0 – 10V 、150A (最大) |
| 排气系统 |
主泵 |
油扩散泵（水冷） 400 L/sec |
液氮冷阱 |
有 |
前级泵 |
油旋片真空泵 200 L/min |
油雾过滤器 |
油雾过滤器 OMI-200 |
| 操作系统 |
主阀门 |
蝶阀 |
副阀门 |
三向切换阀 |
自动渗漏阀 |
可选 |
控制 |
手动控制 |
| 控制系统 |
皮拉尼真空计 |
GP-1G |
电离真空计 |
GI-M2 |
| 外形 |
尺寸（主体） |
730mm(W) × 709mm(D) × 1161mm(H) |
尺寸（蒸发电源） |
480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H) |
重量（主体） |
148kg |
重量（蒸发电源） |
40kg |
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※1: 不考虑基板最大尺寸时的膜厚分布值。
型 号 |
VWR-400M/ERH |
| 电源需求 |
主体 |
单相, 100V, 1.6kVA |
蒸发电源 |
单相, 200V, 1.5kVA |
| 接地端子 |
D级（接地抗阻/100Ω 或更低） |
| 附件 |
主体 ： 单相、100V |
乙烯绝缘软电缆（R3.5-4帯端子） 4m |
蒸发电源 ： 单相、200V |
乙烯绝缘软电缆（R2.0-5帯端子） 2m |
| 用水需求 |
2.0L/min （水温：低于20-25℃、水压：200kPa） |
| 附件 |
Rp1/4 (带"Kantouch"软管接头) |
| 推荐软管 ※ |
蒂托轮编织软管 （内径9mm×外径15mm） |
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