产品名称：VTS-350M/ERH
产品型号：VTS-350M/ERH
上传时间：2012-06-12
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小型真空镀膜装置 VTS-350M/ERH

DEPOX系列／小型真空镀膜装置

特　性 在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、皮拉尼真空计、电离真空计、真空管、电力系统等必要机器的电阻加热式小型真空蒸发装置。DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。使用简单，最适合用于基础研究开发等实验。   应　用 1. 金属与有机材料镀膜装置。 2. 真空排气设备的多种组合。 3. 强化安全性与可靠性。 4. 多层镀膜与同时镀膜（最大：4 层）还配有额外蒸发电源与电极。 5. 玻璃钟罩方便观察与维护。

规格参数

型　号 VTS-350M/ERH 真空性能 极限压力 4.0 × 10-4Pa 2.0 × 10-4Pa (使用液氮时)※1 排气时间 4.0 × 10-3Pa/15min 3.0 × 10-3Pa/10min (使用液氮时)※1 真空舱 钟罩尺寸 玻璃钟罩 （直径300mm × 300mm(H)) 馈通圈 12个端口（8侧面、4底面） 标准基板・最大尺寸 ※2 □50mm ・ □140mm（最大） 供电系统 蒸发电极结构 1点式 蒸发电源 SEREM　“PSE-150C”、 0 – 10V 、150A (最大) 排气系统 主泵 涡轮分子泵（气冷） 345 L/sec 液氮冷阱 可选 前级泵 涡旋干式真空泵 250 L/min 油雾过滤器 – 操作系统 主阀门 蝶阀 副阀门 三向切换阀 自动渗漏阀 有 控制 手动控制 控制系统 皮拉尼真空计 GP-1G 电离真空计 GI-M2 外形 尺寸（主体） 730mm(W) × 584mm(D) × 1161mm(H) 尺寸（蒸发电源） 480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H) 重量（主体） 160kg 重量（蒸发电源） 40kg

条　件

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