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| 系统的灵敏度 | 1.0×10 -7 PA-M 3 / S | |
| 大小会议厅 | φ340×H500(45L) | |
| 真空排气系统 | 保健系统的引排 | PRC-012A +(EC-803×2) |
| 测试系统 | 氦检漏仪 | HELIOT的零 |
| 加工能力 | 40sec/1chamber(机时间) | |
| 效用 | 功率 | AC200V〜20KVA |
| 氦气 | 0.1〜0.9MPa | |
| 压缩空气 | 为0.5MPa | |
| 冷却水 | 0.18米3 /小时(°C〜30°C 15) | |
| 选项 | 自我封闭的机制氦 | |
| 充氦气回收机制 | ||
| 包容和恢复机制,氦气的混合气体 | ||
| N 2发生器,高压空气干燥 | ||
| 配套工程 | ||