|
|||||||
系统的灵敏度 | 1.0×10 -7 PA-M 3 / S | |
大小会议厅 | φ340×H500(45L) | |
真空排气系统 | 保健系统的引排 | PRC-012A +(EC-803×2) |
测试系统 | 氦检漏仪 | HELIOT的零 |
加工能力 | 40sec/1chamber(机时间) | |
效用 | 功率 | AC200V〜20KVA |
氦气 | 0.1〜0.9MPa | |
压缩空气 | 为0.5MPa | |
冷却水 | 0.18米3 /小时(°C〜30°C 15) | |
选项 | 自我封闭的机制氦 | |
充氦气回收机制 | ||
包容和恢复机制,氦气的混合气体 | ||
N 2发生器,高压空气干燥 | ||
配套工程 |