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系统的灵敏度 | 1.6×10 -5 PA-M 3 / S(0.01Cc/min) | |
大小会议厅 | W500×D350×H400手动开启和关闭系统(70L) | |
真空排气系统 | 保健系统的引排 | EC-803 |
测试系统 | 氦检漏仪 | HELIOT-100系列 |
加工能力 | 60sec/1chamber(机时间) | |
效用 | 功率 | AC200V〜10KVA |
氦气 | 0.1〜0.9MPa | |
压缩空气 | 为0.5MPa | |
选项 | 充氦气回收机制 | |
包容和恢复机制,氦气的混合气体 | ||
N 2发生器,高压空气干燥 |