您现在的位置  首页 >> 代理贸易业务 >> Ulvac 真空设备 >> DEPOX系列 >> [ VTS-350M/ERH ]

产品名称:VTS-350M/ERH
产品型号:VTS-350M/ERH
上传时间:2012-06-12
点击次数:7767

   

小型真空镀膜装置 VTS-350M/ERH
DEPOX系列/小型真空镀膜装置

特 性

在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、皮拉尼真空计、电离真空计、真空管、电力系统等必要机器的电阻加热式小型真空蒸发装置。DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。使用简单,最适合用于基础研究开发等实验。
 
应 用

1.
金属与有机材料镀膜装置。
2.
真空排气设备的多种组合。
3.
强化安全性与可靠性。
4.
多层镀膜与同时镀膜(最大:4 层)还配有额外蒸发电源与电极。
5.
玻璃钟罩方便观察与维护。

规格参数
型 号
VTS-350M/ERH
真空性能
极限压力
4.0 × 10-4Pa
2.0 × 10-4Pa (使用液氮时)※1
排气时间
4.0 × 10-3Pa/15min
3.0 × 10-3Pa/10min (使用液氮时)※1
真空舱
钟罩尺寸
玻璃钟罩 (直径300mm × 300mm(H))
馈通圈
12个端口(8侧面、4底面)
标准基板・最大尺寸 ※2
□50mm ・ □140mm(最大)
供电系统
蒸发电极结构
1点式
蒸发电源
SEREM “PSE-150C”、 0 – 10V 、150A (最大)
排气系统
主泵
涡轮分子泵(气冷) 345 L/sec
液氮冷阱
可选
前级泵
涡旋干式真空泵 250 L/min
油雾过滤器
操作系统
主阀门
蝶阀
副阀门
三向切换阀
自动渗漏阀
控制
手动控制
控制系统
皮拉尼真空计
GP-1G
电离真空计
GI-M2
外形
尺寸(主体)
730mm(W) × 584mm(D) × 1161mm(H)
尺寸(蒸发电源)
480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H)
重量(主体)
160kg
重量(蒸发电源)
40kg

条 件
型 号
VTS-350M/ERH
电源需求
主体
单相, 100V, 0.9kVA
蒸发电源
单相, 200V, 1.5kVA
接地端子 D级(接地抗阻/100Ω 或更低)
附件
主体 : 单相、100V
乙烯绝缘软电缆(R3.5-4帯端子) 4m
蒸发电源 : 单相、200V
乙烯绝缘软电缆(R2.0-5帯端子) 2m
[打印]  [关闭窗口]  

Warning: Unknown: Your script possibly relies on a session side-effect which existed until PHP 4.2.3. Please be advised that the session extension does not consider global variables as a source of data, unless register_globals is enabled. You can disable this functionality and this warning by setting session.bug_compat_42 or session.bug_compat_warn to off, respectively in Unknown on line 0