| ∷∷ 产品列表 ∷∷ |
|
| ∷∷ 产品搜索 ∷∷ |
|
|
| ∷∷ 友情链接 ∷∷ |
|
|
|
| 您现在的位置 首页 >> 产品列表 >> 代理贸易业务 >> Ulvac 真空设备 >> RFS系列 >> |
| 特 性 |
是装载了RF电源的小型高周波溅射装置。因为可以为金属、半导体、绝缘物体成膜，所以最适合用于基础研究开发等实验。
|
| |
| 应 用 |
| 1. |
紧凑且易于移动。 |
| 2. |
TMP 实现高速排气。 |
| 3. |
可通过流量控制阀连续控制进气 |
| 4. |
适当的预溅射 |
| 5. |
自动匹配控制 |
| 6. |
高精确薄膜 |
|
|
型 号 |
RFS-200 |
| 真空性能 |
极限压力 |
6.6 × 10-4Pa
|
排气时间 |
6.6 × 10-3Pa/5min |
| 真空舱 |
真空舱 |
金属舱 (200mm(W)×250mm(D)×150mm(H)) |
阴极 |
直径80mm 1 电极 |
标准基板 |
直径80mm × t1mm |
溅射有效区域 |
直径50mm |
溅射速度 |
SiO2, 成膜速度大于 20nm/min |
膜厚分布 |
SiO2, 在 ±8%直径50mm |
基板加热 |
最大 350 ℃ |
电极距离 |
30mm – 60mm (可变) |
| 排气系统 |
主泵 |
油扩散泵（水冷） 150 L/sec |
液氮冷阱 |
可选 |
前级泵 |
油旋片真空泵 100 L/min |
油雾过滤器 |
油雾过滤器 OMT-100A |
| 操作系统 |
主阀门 |
瓣阀 |
副阀门 |
三向切换阀 |
自动渗漏阀 |
可选 |
控制 |
手动控制 |
| 控制系统 |
射频电源 |
最大 200W (变量: 0 - 200W) |
皮拉尼真空计 |
G-TRAN |
电离真空计 |
可选 |
| 外形 |
尺寸 |
800mm(W) × 725mm(D) × 1635mm(H) |
重量 |
200kg |
型 号 |
RFS-200 |
电源需求 |
单相, 100V, 1.3kVA |
接地端子 |
A级（接地抗阻/10Ω 或更低） |
用水需求 |
5.0L/min （水温：低于25℃、水压：200-300kPa） |
附件（电源） |
乙烯绝缘软电缆（带插头） 2m |
附件（接地） |
接地电缆（铜板） 2m |
附件（冷却水） |
Rp1/4 (带"Kantouch"软管接头)
蒂托轮编织软管 （内径9mm×外径15mm） 2m（2根） |
|
|
