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| 您现在的位置 首页 >> 产品列表 >> 代理贸易业务 >> Ulvac 真空设备 >> SCOTT系列 >> |
| 特 性 |
是装载了RF电源的小型高周波溅射装置。因为可以为金属、半导体、绝缘物体成膜，所以最适合用于基础研究开发等实验。
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| 应 用 |
| 1. |
平行板射频磁控管 |
| 2. |
主泵为涡轮分子泵 |
| 3. |
所有测量计均安装于机架 |
| 4. |
溅射速度30nm/min（SiO2），使用磁控溅射。 |
| 5. |
底层交换，处理方便，从顶盖开启进行维护。 |
| 6. |
可选反应式溅射 |
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型 号 |
VTR-150M/SRF |
| 真空性能 |
极限压力 |
6.6 × 10-4Pa |
排气时间 |
6.6 × 10-3Pa/5min |
| 真空舱 |
真空舱 |
金属舱 (直径310.5mm × 160mm (H)) |
阴极 |
直径2inch, 3 电极 |
标准基板 |
直径2 英寸(直径.50.8mm) × t1mm |
溅射有效区域 |
直径25mm |
溅射速度 |
SiO2, 成膜速度大于 30nm/min |
膜厚分布 |
SiO2, 在±10% 直径25mm |
基板加热 |
最大 350 ℃ |
电极距离 |
50mm – 90mm (可变:半固定) |
| 排气系统 |
主泵 |
涡轮分子泵 (230L/sec) |
液氮冷阱 |
– |
前级泵 |
油旋片真空泵 200L/min |
油雾过滤器 |
油雾过滤器 OMT-200A |
| 操作系统 |
主阀门 |
L (角度)型阀门 |
副阀门 |
三向切换阀 |
自动渗漏阀 |
可选 |
控制 |
手动控制 |
| 控制系统 |
射频电源 |
最大 300W (变量: 40 - 300W) |
皮拉尼真空计 |
GP-1G |
电离真空计 |
GI-M2 |
| 外形 |
尺寸 |
1150mm(W) × 751mm(D) × 1067mm(H) |
重量 |
400kg |
型 号 |
VTR-150M/SRF |
| 电源需求
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单相, 100V, 3.0kVA |
| 接地端子 |
A级（接地抗阻/10Ω 或更低） |
| 用水需求 |
2.0L/min（水温：低于25℃、水压：200kPa） |
附件（电源）
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乙烯绝缘软电缆（不带插头） 3m |
| 附件（接地） |
接地电缆（不带插头） 10m |
| 附件（水） |
Rp1/4 (带"Kantouch"软管接头)
蒂托轮编织软管 （内径9mm×外径15mm） 4m（2根） |
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